Chimie analytique : une revue indienne
ISSN (PRINT): 0974-7419

Abstrait

On optimization of regimes of epitaxy fromgas phase in a horizontal reactor

E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva


In this paper we analyzed mass and heat transport in a horizontal reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.


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